展会邀请 | 斯凯力在第十四届半导体材料及设备展期待与您相会

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• 电子化学品生产：电子级酸碱、双氧水、高纯溶剂从原料到成品全流程输送

  
  

• 光刻胶生产：光刻胶树脂、感光剂、溶剂的高精度输送（高粘度、无金属污染）

• 晶圆清洗工序：超纯水/清洗剂输送

• CMP抛光工序：研磨液（浆料）输送

• 刻蚀工序：高浓度酸碱废液输送

• 化学品供应间：电子级化学品精确配比投加

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适用于高纯度或腐蚀性环境

• 进出料口导电PE或PTFE材料，防静电耐腐蚀

• 干/湿吸能力优异，可干转

• 无旋转部件，无轴封，杜绝微粒污染

安全可靠 无污染 强耐腐蚀性

• 强耐腐蚀性，安全可靠

• 无电机结构，无发热

• 非金属结构，确保高纯度环境零金属污染

• 适用于高纯度、高腐蚀性半导体制程环境

膜片寿命可达 20,000,000 次

• 低剪切，不破坏颗粒粒径分布

• Ra0.4µm甚至更优

• 可空转，适配超纯水在线清洗

• 选配阻尼器可将脉冲降至低

• 316L不锈钢过流部件，输送洁净级物料，满足高纯工况要求

• PP/PVDF/PPH过流部件，输送高浓度酸碱腐蚀性物料

电子化学品精确计量投加

• 流量范围：2.25-3000L/h（机械式）,1-1600L/h（柱塞式）